上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司成立于2021年2月，是沈陽芯源微的全資子公司。上海公司發(fā)展定位為國內(nèi)高端半導(dǎo)體專用設(shè)備研發(fā)高地，占地45畝、建筑面積5.4萬平方米，配套近萬平的高等級潔凈廠房、研發(fā)辦公及活動中心，主要開展28nm及以下高端工藝技術(shù)節(jié)點的集成電路光刻工藝涂膠顯影設(shè)備、化學(xué)清洗設(shè)備及其核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，年產(chǎn)值可達(dá)25億、帶動1000人就業(yè)。
