沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。
2002年成立
公司3大廠區14萬平方米
332項授權專利
芯源公司總部位于沈陽市渾南區，在上海、日本設有子公司。公司總部占地4萬平米，擁有專業的集成電路工藝開發和檢測實驗室以及半導體設備生產組裝車間。芯源公司通過多年技術積累、創新提高，形成自主知識產權體系，公司共獲得專利授權 332 項，其中發明專利199項，實用新型專利95項，外觀設計專利 38 項；擁有軟件著作權 96 項。主持制定了行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》、《旋轉式涂覆設備通用規范》。沈陽芯源公司作為國內領先的高端半導體裝備制造企業，所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，可根據用戶的工藝要求量身定制。產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續承擔國家02科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》項目，連續兩年被評為中國半導體行業十強企業。
2019年12月16日，芯源公司在上交所科創板上市，成為“遼寧省科創板第一股”。借力資本市場，芯源將加速提升企業的創新能力和產品成套能力，以先進可靠的產品和優質服務贏得客戶信賴，為客戶提供先進的半導體設備，成為全球半導體設備領先企業，助推產業技術進步。
